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科普干货!常见的晶圆量测方法

阅读量: 217次 发布时间:2024-10-20 14:04:50

  这显示了Si是否排列良好。如果存在堆垛故障,则中间可能没一层,并且可能会看到错位。SiO2是无定形的,因此原子图像看起来是随机的。

  →只看到非常小的Si区域(通常能看到1um*1um的面积),并且只能看到已采集的横截面,因此不知道该横截面后面或前面的缺陷是什么。例如,上图无法判断图片的左侧或右侧的情况。

  原子力显微镜利用微悬臂下方的探针和样品表面距离缩小到纳米级,探针和样品表面的分子间作用力使得悬臂受力形变。探针针尖和样品之间的作用力与距离有强烈的依赖关系,即可以通过检验测试悬臂受力的弯曲程度,从而获得样品表面形貌信息。不同于电子显微镜只能提供二维图像,AFM能提供真实的三维表面图。同时,AFM不需要对样品的任何特殊处理,如镀铜或碳,这种处理对样品会造成不可逆转的伤害。电子显微镜需要运行在高真空条件下,原子力显微镜在常压下甚至在液体环境下都可以良好工作。这样做才能够用来研究生物宏观分子、电池材料,甚至活的生物组织。

  利用微悬臂探针结构对导体、半导体、绝缘品等固体材料来三维样貌表征,纵向噪音水平低至0.03nm(开环),可实现样品表面单个原子层结构形貌图像绘制。AFM最大的特点是可以测量表面原子之间的力,AFM可测量的最小力的量级为10-14-10-16N。AFM还可以测量表面的弹性,塑性、硬度、黏着力等性质,AFM还可以在真空、大气或溶液下工作,在材料研究中获得了广泛的研究。

  致真精密仪器自主研发了系列原子力显微镜产品,稳定性强、可拓展性良好、提供定制服务;可拓展横向力显微镜、静电力显微镜、磁力显微镜、扫描开尔文探针显微镜、刻蚀和纳米操作等。

  该产品作为高速、高精度物质形貌表征工具,可以为高端科研与公司制作研发提供更多的选择与助力。↓↓↓

  *免责声明:本文由作者原创。文章的主要内容系作者本人观点,致真精密仪器转载仅为了传达一种不同的观点,不代表致真精密仪器对该观点赞同或支持,如果有任何异议,欢迎联系致真精密仪器。

  致真精密仪器一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。致真精密仪器通过工程化和产业化攻关,已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备,包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、芯片制造与应用教学训练成套系统等”等,如有需要,我们的产品专家能够给大家提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。

  免费测试服务,有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师,可以每时每刻与我们联系。

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