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迈为股份成功交给Micro LED激光剥离和巨量搬运设备

阅读量: 217次 发布时间:2024-11-05 15:37:53

  近来, 迈为股份 自主研发的最新一代Micro LED激光剥离设备(LLO)和Micro LED巨量搬运设备(LMT)成功完结样品验证,顺畅交给至新式显现范畴头部企业,助力客户端更好地打造Micro LED产品线。

  迄今,迈为股份已向多家客户供给Micro LED激光剥离、巨量搬运设备,赢得这两款产品在固体激光范畴的最高商场份额。

  作为Micro LED中心制程设备,迈为股份这两款产品的进一步使用,标志着公司在该范畴的技能成熟度与抢先性,正在不断推动Micro LED及相关显现技能的晋级迭代与立异开展。

  近年来,Micro LED凭仗其高亮度、高解析度、高对比度、低功耗等优越性能成为未来显现技能的新星,依托量产技能的推动,正不断向宽广的使用范畴浸透,从智能穿戴、车载显现、智能车灯到商用显现大屏等。

  Micro LED尺度细小,制程工艺难度大,其间巨量搬运工艺环节需要将数十万乃至上百万微米级的Micro LED晶粒精准、高效地搬运至方针基板上,搬运进程对数量、速度、精度、良率、可靠性都要求极高,对设备技能充溢应战,是Micro LED产业化进程及降本的要害。

  对此,迈为股份于2022年成功开发了Micro LED激光巨量搬运量产装备,该装备选用高性能紫外激光器,协作高指向性光路体系,可针对不一样尺度产品调整光斑巨细,一起结合高精密运动渠道、高速度高精度振镜扫描,完成高功率、高灵敏度、高质量的晶粒搬运作用。

  在新式显现范畴,迈为股份与天马严密协作,共同开发激光巨量搬运&剥离&键合设备等。2023年6月30日迈为与天马就Micro LED巨量搬运设备到达收购,12月26日搬入。

  在前期的产品验证阶段,两边根据各自的专业范畴携手协作,迈为从整线设备计划动身优化设备结构设计与激光工艺技能,天马新式显现技能研究院从芯片与胶材开发方面提高工艺窗口,终究成功完成大范围三色拼接搬运验证,且搬运后无显着尘粒(particle),落位精度及偏转视点均到达职业抢先水平。

  而作为巨量搬运的前道工艺,激光剥离的作用直接影响着搬运的良率与功率,因而对其加工质量的要求也极高。

  迈为股份自主研发的Micro LED激光剥离设备是选用了DPSS固体激光器,针对Micro LED晶圆进行激光剥离, 完成GaN外延层和蓝宝石衬底的别离。相较前一代产品,迈为股份本次交给的设备晋级至全新平顶光整形选择性剥离技能,装备高精密视觉成像定位体系及高精密运动操控办理体系,剥离作用优于准分子工艺,全体均一性高,量产良率可到达99.999%。

  跟着AI使用在显现范畴的拓宽延伸,立异正成为新式显现技能掌握科技革新,拥抱未来商场的要害。

  自2020年起,迈为股份面向Micro LED范畴,自主研发了晶圆键合、激光剥离、激光巨转、激光键合、激光修正、激光切开及D2D键合、混合键合等全套设备,为Micro LED的产业化进程注入了新动能。

  未来,公司将继续攻坚中心技能,逐步齐备MLED整线工艺解决计划,助力新式显现职业加快完成高质量开展。

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