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碳化硅激光切割机的原理

阅读量: 217次 发布时间:2024-07-22 09:02:09

  碳化硅(SiC)作为一种大范围的应用于半导体制造的衬底材料,其优越的性能在电子行业中备受推崇。碳化硅可承受高温、高频,拥有非常良好的导电性和导热性,使其成为制造高功率电子器件和光电子器件的理想选择。而在碳化硅的应用过程中,

  碳化硅在半导体制造中的作用不可忽视。作为衬底材料,它可提供卓越的热传导性能,有效散热,来保证了半导体器件在高负载、高频率下的稳定性。此外,碳化硅还具有较高的耐高温性能,可承受极端工作环境,使其在制造高功率电子器件、光电子器件等方面发挥了重要作用。

  碳化硅激光切割机利用高能激光束对碳化硅进行精准切割。其原理最重要的包含以下几个步骤:

  1. 激光产生:碳化硅激光切割机采用激光器产生高能激光束。常见的激光器包括CO2激光器、纤维激光器等,选不一样类型的激光器取决于具体的切割需求。

  2. 激光聚焦:激光束通过光学系统来进行聚焦,使其单位体积内的包含的能量增大,达到能够穿透碳化硅的水平。

  3. 碳化硅吸收激光:碳化硅对激光的吸收率较高,吸收激光后会产生局部加热。

  4. 瞬时蒸发或气化:高能激光束聚焦在碳化硅表面,导致局部温度急剧升高,碳化硅瞬时蒸发或气化,实现精准切割。

  1. 精准度:激光切割技术具有高精度、高稳定性的特点,可以在一定程度上完成对碳化硅的精细切割,保证器件制作的准确性。

  2. 切割效率:相较于传统的机械切割方式,碳化硅激光切割机更高效。激光的非接触性切割方式减少了物料损耗,提高了生产效率。

  3. 损耗:激光切割过程中的热影响区域小,减少了碳化硅的损耗,提高了切割后的产品质量。

  4. 产品良率提升:由于激光切割的高精度和低损耗特性,大幅度提升了碳化硅器件的生产良率,降低了制造成本。

  综合来看,碳化硅激光切割机在精准度、切割效率、损耗、产品良率等方面有着非常明显的优势,为降低碳化硅的成本,加速推动以碳化硅为衬底材料的成品在半导体市场的渗透,发挥着关键作用。返回搜狐,查看更加多

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